تصفیه آب صنعتی ، مجموعه فرآیند هایی است که طی آن آب صنعتی تولید می شود. آب صنعتی به آبی گفته می شود که در صنایع مختلف مانند صنعت الکترونیک و صنعت داروسازی استفاده می شود. آب فوق خالص (Ultra Pure Water) زیر مجموعه ای از آب صنعتی و گاها همان آب صنعتی می باشد. آب فوق خالص آبی است که تا حد زیادی خالص شده و TDS آن برابر صفر می باشد. در واقع این آب تنها از یون های H+و OH–تشکیل شده است.

عبارت “آب فوق خالص” تاکید بر این نکته دارد که این آب پس از گذراندن مراحل تصفیه، عاری از هر گونه ترکیبی مانند مواد آلی و غیر آلی، مواد محلول و ذره ای، فرار و غیر فرار، واکنش پذیر و بی اثر، آب دوست و آب گریز و همچنین گاز های حل شده می باشد